粒子計數器法使用的測量儀器是粒子計數器。

　　粒子計數器的工作原理是講來自光源的光線被透鏡組聚焦于測量腔內。當空氣中的每一個粒子快速的通過測量腔時，便把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經過透鏡組被送到光檢測器。正比轉換成電脈沖信號，再經過儀器電子線路的放大、甄別、揀出需要的信號，通過計數系統(tǒng)顯示出來，得知空氣中微粒的粒徑和個數。檢漏使用的成員是癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS。

　　粒子計數器結果顯示的是：粒徑的粒子數，單位為顆/28.3L。

　　氣溶膠光度計法及原理

　　氣溶膠光度計法使用的測量儀器是氣溶膠光度計。氣溶膠光度計是一種前散射線性光度計。

　　原理是通過真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉換器和微處理器等組成。其工作原理是當氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉換成電信號，此信號經放大和數字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質產生的信號對比，可以直接測量氣體中顆粒物質的質量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴（PAO）。

　　光度計測量結果顯示的是ug/L（毫克/升）。

　　對比試驗分析：

　　本次試驗依據為ISO14644-3-B.6.2使用氣溶膠光度計對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法和ISO14644-3-B.6.3使用粒子計數器對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法。試驗對象為規(guī)格1190*650的層流罩，高效過濾器采用反液槽密封無隔板高效過濾器，尺寸規(guī)格484*484*70，四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。

　　試驗結論

　　1、用PAO測試時，光度計的上游濃度為2ug/L，相當于粒子計數器為1200萬顆/28.3L，計數法能在下游檢測出漏點，而用光度計無法檢測出漏點，用DEHS測試時，被測結果與上述數據一致，說明計數法更靈敏。

　　2、在同樣的漏點被檢測出時，光度計法所需要上游濃度要比粒子計數法大100倍左右，這就造成了對過濾器和環(huán)境的污染。濃度越大，噴霧時間長的花，會有微小油滴聚集。

　　3、用計數器法對過濾器檢漏，上游所需發(fā)塵濃度低，下游探測靈敏度高，相對光度計法污染低。

　　4、用計數器法克直接現場打印數據，得到粒子粒徑數，便于追查漏點原因，而光度計法則無現場打印功能，無粒徑概念，對超高效不合適。

　　本次試驗對比旨在對上述兩種測試方法之間的技術與經驗進行相關交流與學習，同時也對提高目前風口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。